机译:适用于恶劣环境的远程驱动和读取MEMS传感器
机译:各种装载对高温和致动器的现场调谐的MEMS悬臂梁性能的影响,用于高温和苛刻环境应用
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机译:SOI谐振器上的SiC:恶劣环境下电动MEMS的途径
机译:使用MEMS器件表征用作恶劣环境温度传感器的热致发光微粒
机译:适用于恶劣环境的远程驱动和读取MEMS传感器
机译:用于恶劣环境的远程驱动和读取mEms传感器
机译:恶劣环境无线mEms传感器用于能源和电力